Nouvelle installation de production d’eau ultrapure conçue pour augmenter la capacité de production des micropuces
Nouvelle installation de production d’eau ultrapure conçue pour augmenter la capacité de production des micropuces
Pour réduire la durée d’installation chez le client final, on montera, autant que possible, l’installation EUP sur des patins en inox, comme l’unité EDI en fournit l’illustration.
Dégazeur à membrane conçu pour ramener la teneur en oxygène de l’eau ultrapure à moins de 10 ppb.
Osmose inverse à deux étages d’une capacité de 43 m3/h.
Portables, smartphones et consoles de jeu… ces équipements reposent tous sur l’utilisation de micropuces. Le fait que la demande de micropuces ait explosé en janvier 2021 pour cause de télétravail généralisé ne devrait surprendre personne. Pour satisfaire cette demande, bon nombre de fabricants de semi-conducteurs ont investi, ces derniers mois, dans diverses extensions et améliorations de leur capacité de production. Cette transformation serait irréalisable sans augmentation de la capacité de production d’eau ultrapure.
La production de micropuces requiert une eau ultrapure, laquelle s’utilise lors de diverses étapes du processus, allant de l’épuration au conditionnement en passant par le rinçage. En vue de l’extension de l’une des plus grandes unités de production de micropuces en Europe, Ovivo Holland s’est vu confier la mission de livrer une installation de production d’EUP. Forte d’une capacité de production d’eau déminéralisée de 3 x 42,5 m3/h, d’une redondance N+1 ainsi que d’une capacité de circulation supplémentaire de 125 m3/h sur la boucle de purification de l’eau ultrapure, cette installation doit contribuer au fonctionnement ininterrompu de l’usine de semi-conducteurs.
Résultats impressionnants
Le fait que notre fabricant se soit adressé à Ovivo Holland pour cette installation ne doit rien au hasard. En effet, Ovivo peut se prévaloir de résultats remarquables dans les domaines suivants : conception, construction, installation, mise service et maintenance d’installations de production d’EUP satisfaisant aux exigences les plus strictes (COT, métaux, anions, cations et silice) auxquelles doit répondre l’eau ultrapure dans l’industrie électronique et le secteur des semi-conducteurs en Belgique et aux Pays-Bas. Le groupe Ovivo a réalisé plus de 200 installations de production d’EUP dans le monde entier.
Normes les plus rigoureuses
Les nouvelles installations de production d’EUP respectent aussi les normes les plus rigoureuses quant à la qualité de l’eau déminéralisée et de l’eau ultrapure. À cette fin, les lits de mélange des deux installations bénéficient d’une résine spéciale d’échange d’ions OvivUP™. Cette résine rincée et conditionnée est conçue pour les applications EUP.
Dernière étape du processus d’élimination des particules et impuretés que présente encore la boucle de purification de l’EUP, l’unité d’ultrafiltration est réalisée de surcroît dans la salle blanche d’Ovivo à Zoeterwoude.
En outre, l’entreprise utilise des conduites et accessoires en PP et en PVDF, exempts de graisse et de silicone à la livraison, dans le souci de prévenir toute pollution de l’eau ultrapure. Pour la même raison, on procède au soudage par infrarouge de ces différents éléments.
Maintenance ramenée à 12 heures par an
Comme la nouvelle installation doit contribuer au fonctionnement ininterrompu de l’usine, il faut limiter autant que possible toute durée d’indisponibilité. Concrètement, la conception optimisée du système s’est traduite par une durée de disponibilité égale ou supérieure à 99,86 %. En conséquence, la maintenance annuelle requise a pu être ramenée à 12 h max.
La redondance des divers éléments constitutifs de l’installation permet de procéder aux opérations de maintenance standard sans nécessiter aucune immobilisation.
TEXTE : OVIVO HOLLAND
ILLUSTRATION : OVIVO HOLLAND
